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G-43Y6型高精密單面光刻機

簡介—— 一 、設備概述:G—43Y6型光刻機是根據市場需求研發的產品,通常情況下為Φ6",對被光刻基片的外形、厚度要求較低,可對

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關于成都光刻機——G-43Y6型高精密單面光刻機設備介紹如下:

一 、設備概述:

G—43Y6型光刻機是根據市場需求研發的產品,通常情況下為Φ6",對被光刻基片的外形、厚度要求較低,可對多種材料的基片進行光刻。它特別適用進行一次光刻的產品,可制作聲表面器件、可控硅、小液晶顯示器、傳感器、二極管、園光柵、編碼盤等。按用戶要求可提供圓形承片臺或方形承片臺,不管哪一種承片臺,如果基片厚度≤2mm,承片臺都能實現“真空密著”曝光,加之光均勻性好,所以大大提高光刻質量。


二、主要技術參數:

1. 操作方式:手動。

2. 曝光模式:接觸式曝光。

3. 曝光面積曝光面積:150mm×150mm。

4. 紫外光源:g線(436nm)和i線(365nm)

5. 實現“真空密著”曝光,但基片厚度≤2mm。

6. 分辨率:Φ100mm范圍內≤2um

7. 照明不均勻性: ±3%( Φ100mm范圍);±5%( Φ150mm范圍);

8. 曝光光源:350W汞燈(進口);

9. 曝光強度:≤20mW/cm2;

10. 光源平行性:≤3.5°;

11. 樣品尺寸:Φ150mm。

三、結構簡介:

G—43Y6型光刻機主要由以下部份組成:

1、蠅眼曝光頭:

曝光燈采用GCQ350W型超高壓直流球形汞燈,紫外光源:g線(436nm)和i線(365nm)非常有利于光刻,光的均勻性很好,不均勻性測量在Φ150mm范圍內≤±5%,冷卻方式為風冷(內裝排風扇)。

在該機底座上裝有歐姆龍公司生產的時間繼電器,0~999.9秒內控制曝光快門。

汞燈隨使用時間增長而逐漸老化,照度逐漸降低,用戶可改變承片臺高度,而保持恒光強,也可改變汞燈電流大小保持恒光強。

2、 電器控制系統:

由各種電器元件組成。

四、設備操作說明:

1) 打開電源開關(面板上標“電源”開關),按下“汞燈”按鈕汞燈打開,“汞燈”指示燈亮,待汞燈亮度正常后(一般需要15分鐘以上),可以進行下一步的操作。

2) 開啟真空泵電源。

3) 轉動曝光頭,使曝光頭平行于操作者,打開板架壓緊,翻起板架。

4) 按下“吸片”按鈕,“吸片”指示熄滅,放基片到相應承片臺上(注意放基片的位置和方向),定好位后,再按“吸片”按鈕,“吸片”指示燈亮,吸片完成。

5) 按下“吸板”按鈕,“吸板”指示熄滅,放掩膜版到相應板架上(注意放掩膜版的位置和方向),定好位后,再按“吸板”按鈕,“吸板”指示燈亮,吸板完成。

6) 翻下板架,轉動板架壓緊塊,鎖緊板架

7) 撥動旋鈕,指向“片升”,基片上升,調節氣缸上的定位螺釘,可以控制基片和掩膜版之間的間隙。

8) 按下“密著”按鈕,“密著”指示燈亮,調整密著真空大小,使版、片在大氣壓作用下緊密貼合好。

9) 轉動曝光頭,使曝光頭正對操作者,也就是使曝光頭在板架正上方。

10) 調整好你所需的曝光時間,按下“曝光”按鈕,“曝光”指示燈亮,進行曝光。

11) “曝光”指示熄滅,曝光結束。

12) 撥動旋鈕,指向“片降”,基片下降。

13) 轉動曝光頭,使曝光頭平行于操作者,打開板架壓緊,翻起板架。

14) 按下“吸片”按鈕,“吸片”指示熄滅,取下基片,曝光完成。

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